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半導體用臭氧水去除有機物質臭氧濃度需要達到多少
使用臭氧水可去除的物質以及所需臭氧的濃度
利用臭氧的強氧化能力，可以實現分解并去除大量的雜質。
根據雜質的形狀與數量的不同，所需濃度也將有所變化，請參考下圖數據。
此外，如將稀氫氟酸與臭氧水同時使用，去除雜質的效果將倍增。
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